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云南净化车间中空气循环特点可分为哪几种设计类型

云南净化车间工程中空气循环特点可分为三种规划类型：　　一是循环空调机配合高效送风口系统形式在小规模低等级要求的洁净车间装饰工程规划中被广泛应用，关于大面积高等级的洁净车间工程则存在运转本钱过高、占用空间过大等缺陷。 二是循环风机配合湿式密封系统形式的规划能够满意集成电路制作洁净车间工程大面积高等级的要求，但运转本钱较高，而且洁净室工程的风速、风量调节困难，系统升级改造困难，所以操作灵活性很低。　　三是FFU循环系统。不只节约运转空间、洁净度安全性高、运转本钱低，而且操作灵活性很高，能够在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满意半导体制作的需求，所以在半导体制作业FFU循环系统逐渐成为最主要的规划方案。

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